- 課號 ：522 U4170
- 類別 ：選修
- 名稱 ：微系統導論
- 英文名稱： Introduction to Microsystems
- 學分 ：３
- 適修年級： 大三以上
- 課程大綱：
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- Introduction
- Basic Principles
a. Mechanical properties
b. Electrical properties
c. Sensing principles
d. Actuating principles
- Fabrication Technology
a. I.C. technology
b. LIGA technology
c. Other micromaching technology
- Applications
a. Microsensors
b. Microactuators
c. Microsystems
- 預修課程 ： 物理、材料力學
- 授課老師 ： 周元昉
- 課程說明 ：
- 評分考試 ：
- 注意事項 ：
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